超声波发生器的功能是为超声波振动系统提供高频电能，同时根据不同的应用要求，对频率和振幅进行跟踪和控制，确保换能器正常工作。
超声波发生器也称超声电源，它的作用是把输入信号变换为相应的高频交流信号，用于驱动换能器工作。超声波发生器的组成：频率发生器、功率发大器、阻抗匹配网络、频率跟踪电路。
超声波电源的发展与电子元器件的发展紧密相连，经历了以电子开关管为核心的老式超声波清洗机阶段、以模拟晶体管为核心的近代超声波清洗机阶段和以晶体开关管、集成电路为核心的现代超声波清洗机阶段。
电子管超声波发生器年开始被使用，体积大、效率低、现在较少被使用。晶体管模型超声波发生器年前后被使用，具有很多优点，但是电源能量损耗较大、体积大，常用在小功率场合，在超高频率领域仍有使用。晶体管幵关型超声波发生器通过调节开关管的占空比来控制输出功率，它是目前主流的功率发生器，具有频率高、效率高、体积小、发热少等诸多优点，且便于与控制芯片配合使用。